В области создания вакуумного и сверхвысоковакуумного технологического оборудования ФГУП СКБ ИРЭ РАН начало работы в 1963 году с создания ряда цельнометаллических камер вакуумного напыления КВН-1, КВН-2, КВН-3, КВН-4, КВН-5. В то время основным заказчиком вакуумного оборудования являлся ФИРЭ РАН.
Одновременно разрабатывались и изготавливались насосы и откачные модули для получения сверхвысокого вакуума, безмасляные средства предварительной откачки (передвижные откачные посты и отдельные насосы), вакуумные камеры, узлы и механизмы, предназначенные для выполнения работы в условиях сверхвысокого вакуума, запорно-регулирующая арматура (шиберные затворы, вентили), устройства питания и управления.
По мере возникновения новых научных задач, усложнялись и требования к оборудованию, необходимому для их решения. Так в 70-х ÷ 80-х годах ХХ века на предприятии был разработан ряд универсальных сверхвысоковакуумных установок УИФ-1, УСУ-2, УСУ-3, УСУ-4, УСУ-5, УСУ-6, УСУ-7, УСУ-8.
Установки УСУ-4 и УСУ-6 получили широкое распространение на территории СССР, так как производились серийно на заводе ЭЗАН в городе Черноголовка по конструкторской документации, разработанной в ФГУП СКБ ИРЭ РАН.
В конце 80-х годов в ФГУП СКБ ИРЭ РАН была разработана и изготовлена по заказу ФИРЭ РАН установка молекулярно-пучковой эпитаксии для выращивания структур на арсенид-галлиевых подложках.
Благодаря этим и многим другим разработкам на предприятии накоплен большой опыт расчета, конструирования и изготовления вакуумных установок и элементов вакуумных систем. Накопленный опыт и технологические возможности предприятия позволяют решать широкий спектр научных и производственных задач.
В 90-х и 2000-х годах в ФГУП СКБ ИРЭ РАН была создана линейка вакуумного технологического оборудования, используемого при производстве электронно-оптических преобразователей (ЭОП). К данному оборудованию относятся: вакуумная установка облуживания корпусов ЭОП, вакуумная установка термокомпрессионной сварки полупроводниковых структур со стеклянными подложками, несколько модификаций сверхвысоковакуумной установки финишной сборки электронно-оптических преобразователей. В установках финишной сборки ЭОП реализовано максимальное количество вакуумных устройств и механизмов разной степени сложности, наилучшим образом демонстрирующих конструкторские и производственные возможности предприятия. Предельное остаточное давление в технологических камерах установки финишной сборки ЭОП достигает значений порядка 10-9 Па.
В 2010 году разработана установка для термовакуумных испытаний изделий электроники (имитатор открытого пространства). Установка служит для испытаний СВЧ усилителей, предназначенных для обеспечения работы бортового информационно-вычислительного комплекса глобальной навигационной системы «ГЛОНАСС».
Для многих научных и производственных организаций ФГУП СКБ ИРЭ РАН изготавливает отдельные элементы вакуумных систем: средства вакуумной откачки, вводы движения в вакуум, запорно-регулирующую арматуру, специальные и стандартные вакуумные фланцы, переходники и камеры, в том числе, по чертежам и эскизам заказчика.