Предназначена для осуществления технологических процессов активации фотокатодных узлов и финишной сборки электронно-оптических преобразователей поколения 3⁺ способом переноса в среде сверхвысокого вакуума.

Состав установки:

• сверхвысоковакуумный модуль загрузки фотокатодных узлов (ФКУ);

• сверхвысоковакуумный модуль активации ФКУ;

• сверхвысоковакуумный модуль герметизации ЭОП;

• печи термического обезгаживания сверхвысоковакуумных модулей;

• шкафы питания и управления (2 шт.).

Каждый из трех сверхвысоковакуумных модулей откачивается при помощи собственного сверхвысоковакуумного откачного модуля (СВОМ), построенного на базе магниторазрядного насоса, титанового сублимационного насоса и азотной криопанели.

Установка оборудована запорно-регулирующей арматурой и специальными устройствами ввода движения в вакуум, разработанными в ФГУП СКБ ИРЭ РАН с учетом специфики применения в условиях сверхвысокого вакуума.

Основные операции, выполняемые на установке:

• термическое обезгаживание и сверхвысоковакуумная откачка модулей установки;

• одновременная загрузка четырех ФКУ в модуль загрузки;

• предварительное термическое обезгаживание ФКУ в модуле загрузки;

• перенос ФКУ из модуля загрузки в модуль активации в условиях сверхвысокого вакуума;

• термическое обезгаживание ФКУ в модуле активации;

• последовательное активирование фотокатодов в модуле активации;

• контроль однородности фотоэлектронной эмиссии фотокатода;

• перенос ФКУ из модуля активации в модуль герметизации в условиях сверхвысокого вакуума;

• загрузка и термическое обезгаживание двенадцати комплектов изделий (микроканальная пластина - МКП, экран, корпус) на карусель модуля герметизации;

• одновременное электронное обезгаживание четырех микроканальных пластин (МКП) в модуле герметизации;

• перенос сборок ЭОП с карусели модуля герметизации на позиции герметизации;

• одновременная герметизация двух ЭОП независимо от процесса электронного обезгаживания МКП.

 Разработчик и изготовитель – АО "КБ РЭ"