АО "КБ РЭ" разрабатывает и изготавливает сверхвысоковакуумные откачные модули (СВОМ) на базе магниторазрядных насосов.

В состав СВОМ входят:

• насос магниторазрядный;

• корпус СВОМ;

• фланец криопанели;

• криопанель;

• титановый испаритель;

• блок питания насоса магниторазрядного;

• блок питания титанового испарителя.

На фланце криопанели предусмотрены патрубки для присоединения датчика вакуума и цельнометаллического вентиля форвакуумной откачки.

Дополнительное оборудование:

• затвор шиберный;

• вентиль цельнометаллический;

• датчик сверхвысоковакуумный с вакуумметром;

• сосуд для заливки жидкого азота в криопанель;

• подрамник;

• печь термического обезгаживания СВОМ;

• блок питания печи СВОМ с автоматическим и ручным управлением нагревом.