Вакуумная установка термокомпрессионной сварки ВУТС 700

Предназначена для проведения процессов термокомпрессионной сварки полупроводниковых структур со стеклянными подложками.

Состав установки:

  • вакуумная камера с металлокерамическими нагревателями;

  • опорный пьедестал;

  • устройство задания усилия термокомпрессии;

  • система высоковакуумной откачки на основе турбомолекулярного и мембранного насосов;

  • система охлаждения фланцев камеры;

  • система линейного перемещения вакуумной камеры над опорным пьедесталом (для загрузки свариваемых изделий);

  • система питания и автоматического управления.

Система высоковакуумной откачки работает в автоматическом режиме. Нагрев, остывание и поддержание заданной температуры в камере осуществляются в автоматическом режиме по программе.

Разработчик и изготовитель – ФГУП СКБ ИРЭ РАН.

Технические характеристики

Наименование Значение

  • Предельное остаточное давление, Па 1 × 10-5
  • Рабочее давление, Па 1 × 10-3
  • Максимальный диаметр свариваемых изделий, мм 25
  • Максимальная температура в зоне нагрева, ºС 700
  • Максимальное усилие при термокомпрессии, кгс 25