Установка двенадцатипозиционная сверхвысоковакуумная финишной сборки ЭОП

 

Предназначена для осуществления технологических процессов активации фотокатодных узлов и финишной сборки электронно-оптических преобразователей поколения 3+ способом переноса в среде сверхвысокого вакуума.

Состав установки:

  • сверхвысоковакуумный модуль загрузки фотокатодных узлов (ФКУ);

  • сверхвысоковакуумный модуль активации ФКУ;

  • сверхвысоковакуумный модуль герметизации ЭОП;

  • печи термического обезгаживания сверхвысоковакуумных модулей;

  • шкафы питания и управления (2 шт.).

Каждый из трех сверхвысоковакуумных модулей откачивается при помощи собственного сверхвысоковакуумного откачного модуля (СВОМ), построенного на базе магниторазрядного насоса, титанового сублимационного насоса и азотной криопанели.

Установка оборудована запорно-регулирующей арматурой и специальными устройствами ввода движения в вакуум, разработанными в ФГУП СКБ ИРЭ РАН с учетом специфики применения в условиях сверхвысокого вакуума.

Основные операции, выполняемые на установке:

  • термическое обезгаживание и сверхвысоковакуумная откачка модулей установки;

  • одновременная загрузка четырех ФКУ в модуль загрузки;

  • предварительное термическое обезгаживание ФКУ в модуле загрузки;

  • перенос ФКУ из модуля загрузки в модуль активации в условиях сверхвысокого вакуума;

  • термическое обезгаживание ФКУ в модуле активации;

  • последовательное активирование фотокатодов в модуле активации;

  • контроль однородности фотоэлектронной эмиссии фотокатода;

  • перенос ФКУ из модуля активации в модуль герметизации в условиях сверхвысокого вакуума;

  • загрузка и термическое обезгаживание двенадцати комплектов изделий (микроканальная пластина - МКП, экран, корпус) на карусель модуля герметизации;

  • одновременное электронное обезгаживание четырех микроканальных пластин (МКП) в модуле герметизации;

  • перенос сборок ЭОП с карусели модуля герметизации на позиции герметизации;

  • одновременная герметизация двух ЭОП независимо от процесса электронного обезгаживания МКП.

 Разработчик и изготовитель – ФГУП СКБ ИРЭ РАН.

Технические характеристики

Наименование Значение

  • Предельное остаточное давление в модуле загрузки, Па 7,5 × 10-9
  • Предельное остаточное давление в модуле активации, Па 3,5 × 10-9
  • Предельное остаточное давление в модуле герметизации, Па 7,5 × 10-9
  • Максимальная температура
    термического обезгаживания модулей, ˚С
    250
  • Максимальная температура
    прогрева ФКУ в модуле активации, ˚С
    650
  • Максимальная температура нагрева комплектов изделий
    (МКП, экран, корпус) в камере герметизации, ºС
    400
  • Максимальное усилие пресса при герметизации ЭОП, кгс 500
  • Наличие автоматических блокировок по температуре и вакууму есть
  • Термическое обезгаживание модулей в автоматическом режиме есть